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真空获得设备

  真空获得设备广泛用于航空、食品,生物科技,医疗业,制造业,冶金,石油化工、建筑等领域。磁控溅射离子镀技术是指在真空室中将被镀材料气化,电离,在偏压的作用下使粒子加速并轰击工件表面,最终在工件表面形成连续薄膜。整个镀膜过程都是在真空环境下进行的。因此,获得稳定、高真空度的真空系统对镀膜工艺过程至关重要。真空获得设备主要由真空泵加上各种阀门、管道及真空测量仪器组成。真空系统一般要求所用零件少,方便安装、拆卸、操作;机组结构紧凑且所占空间尽量小;工作性能稳定、可靠。

  真空泵可以看作一种气体运输装置,它将气体从被抽容器中抽吸出来,使容器中的压力降低,是真空获得设备的重要组成部分。真空泵的极限真空的范围很大,从粗真空到10-12Pa高真空,抽速由零点几升每秒到几十万升每秒。每种真空泵都有抽速范围,往往根据不同的工作要求选择合乎要求的真空泵。有时将各种真空泵互相衔接组合起来使用,以满足各种不同真空工艺过程的需要。真空泵的选择不能只依据一种指标,要从多方面去考虑。选择真空泵型有两个主要依据:(1)真空室空载所需的极限真空度。选择真空泵时,一定要满足真空室的极限真空度低于所选真空泵的极限真空度。(2)真空室的工作压强。真空泵抽速范围是选择真空泵类型的一重要技术指标,因此,要保证工作压强在所选真空泵的抽速压强范围内。真空获得设备按极限真空来分,可分为高真空获得设备和低中真空获得设备。